Trooper-BI1-晶圓級SiC老化測試機
Trooper-BI1-晶圓級SiC老化測試機
設備特性與優點:
Trooper-BI 是一款高性能老化測試機,專為晶圓級碳化矽 (SiC)而設計。
此設備搭備真空的傳送手臂,可根據需求處理 6 英寸、 8 英寸之間的晶圓。它提供優異的多探針測試方式,範圍從 720 到 1,800 個測試通道,同時支援高達 200°C 的溫度。透過在高溫下進行高壓/電流壓力測試,Trooper-BI 可以有效地提前篩選出缺陷,確保交付的都是經過充分老化測試的可靠設備。
- 通道數量:每個晶圓最多 1800 個
- 支援6”和8”晶圓
- 可實現高達 200°C 的多重測試,一張探針卡可處理多種測試參數,確保其效率和成本效益
- 可自行定義老化程序
- 執行預燒前和後的測試
- 老化後目視檢查
- 老化期間的即時電壓/電流測量和溫度監控
產品規格:
上料/下料選項 |
單片晶圓 |
通道數量 |
每個晶圓單元最多 1800 個 |
晶圓尺寸 |
6”、8” |
老化時間 |
可編程 |
測試能力 |
Vth, IGSS, IGSS, Contact Check |