Trooper-V SiC晶圓檢測AOI 

設備特性與優點：
Trooper-V 是 Pentamaster 的下一代高速 AOI 處理機，專為晶圓級封裝而設計。 Trooper-V 檢測系統只需 2 分鐘即可檢測由大約 70,000 個晶片組成的整個晶圓。配備高品質振鏡，可實現不同等級的放大倍率，以適應各種類型和尺寸的模具。
根據客戶的要求，它有兩種不同的設計，一種可以在無塵室（GLASS-10 ）中運行，另一種可以在標準生產廠域中運行。

• 具有明視野和暗視野功能的先進顯微鏡
• 高品質振鏡（2.0x、5.0x、7.5x 放大倍率）
• RGB 配置的光源照明
• SiC 短波紅外線 (SWIR) 成像技術
• 可自訂的晶圓圖型生成
• 配備伯努利雙臂生晶圓機器人
• 可與多種晶圓尺寸搭配

產品規格