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設備特性與優點
技術規格
玻璃完整的移除。
晶圓無破裂、無裂痕。
膠膜的清除、無痕殘留。
避免BGA的殘缺,保持完整性。
外觀尺寸
2770(L)mm*4150(W)mm*2550(H)mm
重量
5140 kg
WPH
8 (For 8”/12”)
晶圓尺寸
8”/12’ Notch & Frame type
晶圓翹取
8”/12’ Notch & Frame type
操作摸式
Auto or Manual
載具
For 8” wafer: Magazine/ For 12” wafer: FOUP/Magazine