FOUP/FOSB Auto Packing Machine
晶圓盒自動包裝機(FOUP/FOSB Auto Packing Machine)主要功能是把晶圓盒(FOUP、FOSB)、乾燥包(Desiccant)、濕度卡(Humidity Card)一同封入鋁袋內。
自動包裝機可取代人工作業、維持產品品質一致、並有效降低晶圓破片風險，滿足智能製造的需求。
• 外真空封口，確保FOUP不會受損。
• E84通訊，對應OHT天車系統、MR系統自動化上料功能。
• 大量投產功能，縮減上下料等待時間。
• N2 Purge填充氮氣功能。
| 產能 | 35MPH |
| 對應產品 | 8”、12”晶圓盒(FOUP/FOSB)、Reel、HWS、Jedec Tray |
| 適用包裝袋 | 鋁袋、抗靜電袋 |
| 封口形式 | 瞬熱型、恆溫型 |