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技術規格
Wafer Auto Inspection Machine –具有多角度檢測視角,可取代人眼來判斷晶圓上的瑕疵。
具有多角度檢測視角,可取代人眼來判斷晶圓上的瑕疵。
具有明暗場光源,可針對不同的瑕疵類型作切換。
可適用於Silicon & Glass Wafer。
Wafer 正背面皆可檢測。
視覺Edge Alignment。
Wafer type
Silicon wafer or Glass wafer
Wafer size
8" - 12"
Weight
2500 kg
Dimension
2176(W) x 1870(D) x 2387(H) mm